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mems加速度計原理
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壓電薄膜加速度微感測器之設計穩健化 - 國立高雄科技大學
System,MEMS)在近幾年來已成為熱門的研究. 課題,其㆗微感測器是在微 ... 其㆗壓電式加速度微感測器之感測原理 ... 以㆕樑對稱的結構的微加速度計為例(圖2),振動.
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