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mems加速度計原理
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MEMS谐振式加速度计灵敏度提升与量程自适应机制研究
因此,研发高性能MEMS加速度计具有重大的战略意义。MEMS谐振式加速度计是一种基于MEMS技术加工,以谐振式感应原理检测加速度的惯性传感器,一般由质量块、微 ...
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