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mems加速度計原理
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MEMS加速度计温度场及残余应力模型研究-手机知网
本论文主要工作包括以下部分: 第1章为论文的研究背景和基本原理部分,主要对MEMS加速度计领域内已发表的专著和文献进行总结和归纳,介绍MEMS加速度计的发展、研究现状、 ...
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