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mems加速度計原理
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MEMS加速度计作业原理介绍 - 86IC科技网
MEMS加速度计 工作原理介绍-由上电容、中电容板(可移动)、下电容板等组成;当加速度达到一定值后,中电容板会移动,与上、下电容板的距离就会变化, ...
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