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mems加速度計原理
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硬核矽睿“芯”之MEMS加速度计技术原理和应用指南
从上面的MEMS加速度计的原理以及实现方式我们可以看到,采用电容测量位移并计算加速度值的方式,与质量快的大小,弹簧的系数以及梳齿的间隙有关,对应这些参数的MEMS ...
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