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mems加速度計原理
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浅述MEMS加速度传感器的原理与构造
电容式加速度传感器是基于电容原理的极距变化型的电容传感器,其中一个电极是固定的,另一变化电极是弹性膜片。弹性膜片在外力(气压、液压等)作用下发生 ...
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