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mems加速度計原理
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常見電容式mems加速度計的工作原理詳解 - 人人焦點
微機械加速度計又稱mems加速度計,是微機械傳感器中最重要的一種,屬於慣性感器。 · 傳感器由兩個差分電容組成,活動電極與兩側固定電極分別構成平行板電容 ...
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