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mems加速度計原理
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MEMS加速器 - MoneyDJ理財網
應用慣性運動定律原理,可設計出單軸、雙軸、三軸加速器,基本加速器包含 ... 改變電容兩極的間距及正對面積,進而測量出電容變化量來計算加速度。
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