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这是我看过最棒的MEMS介绍文章，从原理制造到应用全讲透 ...

MEMS 技术的应用主要有传感器和执行器两部分，本文是一篇比较严肃的MEMS技术科普文章，然而深入浅出，并没有深奥到难以看懂，并且配有多图微观图片讲解 ...

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