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这是我看过最棒的MEMS介绍文章，从原理制造到应用全 ... - 腾讯

MEMS 是一门综合学科，学科交叉现象及其明显，主要涉及微加工技术，机械学/固体声波理论，热流理论，电子学，生物学等等。MEMS器件的特征长度从1毫米到1 ...

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