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微機電系統基礎_百度百科
《微機電系統基礎》是2007年機械工業出版社出版的圖書,作者是(美) ... 選擇了MEMS主要應用領域作為實例介紹,包括微流控應用、用於掃描探針顯微術的器件、光MEMS。
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