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微機電系統- 維基百科，自由的百科全書

微機電 系統（英語：Microelectromechanical Systems，縮寫為MEMS）是將微電子技術與機械工程融合到一起的一種工業技術，它的操作範圍在微米尺度內。微機電系統由尺寸 ...

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