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微機電系統概論 - | 淡江大學開放式課程

本課程介紹微細加工與X光深刻模造術,並強調目前在民生產業之應用與衝擊,包括噴墨印表,壓力計,投影機,加速度計等. 單元名稱, 課程名稱. 第8章-微致動器技術, 微機電系統 ...

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