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CTIMES- 解析CMOS-MEMS技術發展與應用現況(上)
一般而言,微機電元件製造技術大致可區分為三類,即: (1)體型微加工(bulk micro-machining):利用矽晶的晶格方向對各種化學藥品的蝕刻選擇性予以雕塑成形, ...
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