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MEMS 微機電
MEMS 本質上是一種把微型機械零組件(如感測器、致動器等)與電子電路集成在同一顆晶片上的半導體技術。一般晶片只是利用了矽半導體的電氣特性,而MEMS 則利用了晶片的電氣 ...
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