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台灣發展CMOS MEMS之現況與機會 - 國立交通大學機構典藏

微機電 系統(Micro Electro-Mechanical Systems, MEMS)在消費性產品的應. 用領域具備高度的成長性，其中，MEMS 的製程設備與CMOS 的製程設 ... 微機電元件介紹.

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