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CMOS+MEMS微加速度計與低雜訊電容感測電路之整合及實現

黃鯖珮 , 碩士指導教授：陳榮順. 繁體中文. CMOS MEMS ； 微加速度計 ； 電容感測電路 ； CMOS MEMS ； Accelerometer ； Capacitive Sensing Circuit.

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