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關鍵詞(Keywords) - 工業技術研究院

矽基氮化鎵發光二極體(LED)的磊晶製程是. 在高溫真空密閉腔體內進行，常見製程方法為金. 屬有機化學氣相沈積(MOCVD)與分子束磊晶. (MBE)。溫度變化、沈積材料及薄膜 ...

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