Mask aligner :MA6/BA6光刻机,最小线宽1um,曝光误差±0.5um。 可进行双面光刻,对准套刻. 兼容6英寸、4英寸、2英寸、不规则小片. 材料可为硅片、石英片、玻璃片等基底.
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