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用於次25 奈米極紫外光曝光機之新穎反射型衰減式相位移光罩

根據最近的國際半導體技術藍圖(International. Technology Roadmap for Semiconductor, ITRS) 指. 出，過去應用於深紫外光微影術中的相位移光罩. (phase-shifting-mask ...

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