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Hitachi MR 光罩修補設備- 半導體及封裝 - 緯利股份有限公司

MR聚焦離子束光罩修補機主要是為半導體或LCD曝光用光罩，其中之缺陷圖形進行修補所開發出來的精密設備。此修補機可以針對各類型光罩（Binary Mask and Phase Shift ...

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