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5.2 技術領導地位

氧化物半導體（CMOS）製程微縮的摩爾定律是否能繼續延伸，. 已面臨眾多技術面之困難，台積公司將持續努力 ... 光罩（EUV Mask）並成功在晶圓上曝光顯影。 ○ 光罩技術.

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