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光學微影的限制

由於製造商永遠受限於以最低成本製造最小元件特徵的要求，因此光學微影的解析度限制決定了半導體產業的生產能力。本文將闡述這些限制以及現今的趨勢，目標為協助業界延伸與 ...

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