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電性故障分析(EFA) - MA-tek 閎康科技

C-AFM · 應用於接觸窗(Contact/via)阻值偏高或漏電、接面漏電及閘極氧化層漏電等問題的故障定位。 · 可區別出接觸窗的類別(P+/N+/Poly contact) · 藉由量測比較電壓-電流曲線 ...

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