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晶圓製造業低濃度氫氟酸廢水回收再利用之實務探討

(3)L/S 排水中富含＜10μm 以下之細微顆粒，原前處理系統設計僅能去除＞20μ m 以上之細微顆粒，導致Filter、RO 嚴重阻塞。 (4)C/S 排水中富含大量微生物、TOC，使得設備阻塞 ...

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