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半導體晶圓切割簡析 - 人人焦點

2021年3月6日 — 在集成電路工藝線寬越來越小的情況下，LOW-K材料（K爲介電常數，即低介電常數材料）越來越多的應用於集成IC中，由於LOW-K層傳統工藝很難加工，於是引入了 ...

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