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高科技產業製程安全技術與管理: 本質較安全設計

號延遲(Signal Delay),在過去技術克服困難,所以較少應用於電晶體製程中,在線寬 65nm 以前之製程,多著重於 Low-K 材料的發展,其目的即是為克服此一問題。

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