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恢复电介质膜及电介质材料中疏水性的方法 - Google

半导体制造工艺除去疏水基团当二氧化硅-基材料，如这里提到的纳米孔二氧化硅电介质膜， ... 为解决上述问题并提供其它改进，本发明提供了低介电常数(“K”)，例如，典型 ...

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