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low k材料
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Low-k材料 - 日本半導体歴史館
1990年代. Low-k材料. ~装置・材料/結晶・拡散・成膜~. LSIは微細化が進むとともにAl配線抵抗と配線間容量が増加し、信号遅延や配線間クロストーク ...
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