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以低介電常數材料作為深紫外光微影之抗反射層研究

在此厚度時，FLARE 的反射率的變化已經. 不隨厚度呈週期性變化。 圖5 可看出248 nm 波長下，在阻劑low-k. 材料(FLARE) 界面所呈現之反射率 ...

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