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孔隙介電層 - 政府研究資訊系統GRB

本計畫主要分成三大部分： (a) Low k 材料之微波介電量測；應 ... 32 奈米元件製程預計需引進超低介電材料(k≤ 2.5)，其關鍵是將起孔洞劑加入含矽基的介電質中，然後將 ...

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