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極低介電常數材料在製程與整合之研究

... 但這兩大類low-k材料應用於製程上卻產生一些新問題，其中一個非常嚴重的問題是去光阻的灰化過程(ashing process)，因為灰化過程中使用的氧電漿會對low-k薄膜造成很 ...

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