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電子材料 - 第 123 頁 - Google 圖書結果

... 比較幾種 CVD 的系統。( a ) APCVD , ( b ) LPCVD , ( c ) PECVD , ( d ) ECR CVD ... LOCOS , ( b ) STI , ( c ) BPSG , ( d ) SOI 。 11.試述質流控制器的構造、動作 ...

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