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図解入門よくわかる最新半導体の基本と仕組み:

... STI Shallow Trench Isolation 。ポリシリコン・ P ウエル Memo ゲート酸化膜絶縁分離膜( LOCOS ) ... 比較して、横方向へ拡がりがないなど微細化が可能です。第 6 章 LSI 製造 ...

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