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図解入門よくわかる最新半導体の基本と仕組み[第3版]

... LOCOS構造で説明してありますが、現在はシャロートレンチ分離(STI * )が主流です ... 比較して、横方向へ拡がりがないなど微細化が可能です。*STI Shallow Trench ...

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