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多轮驱动刻蚀市场，大陆厂商崛起可期

STI 良好的隔离性是以集成一系列复杂的单步工艺来. 获得的，工艺上的难点 ... LOCOS 工艺拥有较佳的隔离特性。STI 结构的形成通常是先在半导体. 基底上 ...

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