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浅沟槽隔离台阶高度稳定性测量方法与流程

虽然sti工艺比locos工艺拥有较佳的隔离特性，然而由于等离子体破坏，可产生大量的蚀刻缺陷，且具有尖锐角落的陡峭沟渠也会导致角落寄生漏电流 ...

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