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半导体- 氧化与RTP工艺漫谈及北方华创的设备布局

... ，其基本原理是硅与氧发生化学反应并生成二氧化硅，二氧化硅是一层比较致密的氧化层， ... LOCOS和STI工艺中的应用：主要是在局部硅氧化（LOCOS）和浅沟槽 ...

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