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集成電路的器件隔離(Device Isolation)
常用的器件隔離方法有PN結隔離、LOCOS隔離、溝槽隔離[1]。 PN結隔離. pn結隔離是集成電路生產中比較常用的方法,特別是在一些無特殊要求的小規模集成 ...
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