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5 Thermal Processes

• 在STI形成過程中氧氣被使用在USG退火上. • 低等級的氮氣使用在閒置時的吹除淨化 ... 是高溫爐的15 °C/min 比較. 減少熱積存和較易的製程控制. • 減少熱積存和較易的製程 ...

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