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STI(Shallow Trench Isolation、シャロートレンチアイソ ...

エッチング部分に酸化膜を形成し、それを絶縁分離膜として用いる(埋め込み酸化膜とも呼ばれる)。 STIはLOCOSに比べて横方向へ広がりがなく、微細化が可能。

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