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隔离技术-STI与LOCOS的区别

随着器件向深亚微米发展，改进的LOCOS结构仍有应力和鸟嘴问题，并存在场氧减薄效应，于是出现了STI（shallow trench isolation浅沟槽隔离）隔离技术，在0.25μm及以下技术 ...

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