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集成電路的器件隔離（Device Isolation） - 每日頭條

因為半導體集成電路是在同一塊半導體矽片上，通過平面工藝技術製造許多元件和器件。 ... 常用的器件隔離方法有PN結隔離、LOCOS隔離、溝槽隔離[1]。

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