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工廠水系統規劃之最佳化管理(以半導體12吋廠為案例)

L/S : Local Scrubber. • C/S : Central Scrubber. 機台用水量差異. 製程廢水回收效率差異. 製程廢水回收量差異. 空調及洗滌用水量差異. 8吋vs.12吋晶圓-自來水用水增 ...

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