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scrubber指的是什麼設備？ - 壹讀

吸附式尾氣處理設備（Local Scrubber）幾乎能處理所以小流量的廢氣，是半導體廠常用的尾氣處理設備，吸附是利用多孔性固體吸附劑處理混合氣體， ...

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