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Atlas - Edwards Vacuum

適用於半導體蝕刻和平面顯示器製程(CF4、SF6 和高流量PFC) 的Atlas Etch; 適用於EPI 和MOCVD 中安全處理氫氣製程的Atlas Helios. 與前一代的廢氣處理裝置相比 ...

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