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氣候變遷倡議- 聯華電子 - UMC

後續，聯電將陸續推動新購機台設置高效率含氟溫室氣體與N2O氣體製程尾氣處理設備(Local scrubber, LS)、新廠CVD機台採用NF3氣體等減量措施。2021年聯電含氟氣體減量 ...

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