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TWI465863B - 決定具有最佳聚焦深度照明光源的方法 - Google ...

影像的聚焦深度(depth of focus,DOF)是黃光製程中的一個重要的指標。當聚焦深度太小時，在線上(in-line)的製程控制將變會得非常困難。由於聚焦深度是在判斷上具有高度 ...

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