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半导体工艺(三)在晶圆上绘制电路的光刻工艺

人们经常将Photo Lithography(光刻)缩写成Photo。得此名称的原因是,这个工艺在晶圆上利用光线来照射带有电路图形的光罩,从而绘制电路。形成 ...

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