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光刻- 维基百科，自由的百科全书

微影製程（英語：photolithography）是半导体器件制造工艺中的一个重要步骤，该步骤利用曝光和显影在光阻层上刻画几何图形结构，然后通过刻蚀工艺将光掩模上的图形转移 ...

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